產（chǎn）品功能:

◆設備烘幹，然（rán）結一（yī）體化結構（gòu）緊湊合理，符合半導體製造標準。

◆穩定可靠（kào）的工藝溫度控製係統（采用英國WEST溫（wēn）度控製器）。

◆采用美國進口加熱燈管加熱。

◆采用（yòng）先進的文氏排氣係統，從而（ér）保證了有害氣體的不泄露（lù）。

◆設備控製采用工業（yè）控製機統一控製。